熱電偶式真空計的測量原理是基于加熱絲周圍氣體的導熱率與氣體的稀薄程度(真空度) 之間所存在的依賴關系。當真空計與被測真空系統相接之后，隨著真空度的提高，加熱絲附近氣體逐漸變得稀薄，氣體分子平均自由程加大，共導熱率降低。由于加熱電流恒定，加熱絲所產生的熱量也巨免但通過氣體熱傳導散失的熱量卻因導抉串的降低而減少，因此加熱絲的溫度升高。通過熱電憫將這種溫度的變化轉換成熱電勢變化，送顯示儀表指示或記錄，并直接以真空度刻度顯示讀數。
　　這種儀表的aag量上限為13.33mPa(10-4mm Hg)。若真空度再總則氣體更加稀薄，使得由于氣體分子碰撞發熱絲而帶走的熱量比由于熱幅射及發熱絲本身熱傳導歷揩走的熱量要小得多，以至在發熱絲的總損失中由于氣體熱傳導而損失的熱量所占的比例大大降低，表就不能準確地反映真空度的變化。
　　該儀表的優點是可測量氣體和蒸汽的壓強，并實現了真空度和電信號間的變換，動檢測和控制;缺點是能檢測的真空度不太高而且怕振動。

可以產生熱電效應的材料很多，但并不都能有穩定的熱電關系而適于做熱電偶材料，目前熱電偶材料已標準化，并已測山丫它們的熱電關系。有的顯示儀表是直接和熱電偶配套的，可以直接從表上讀出溫度的示數，當沒有配套的顯示儀表時，可由一般的毫伏表或電位計讀出示數再查熱電偶的熱電關系表，換算成溫度。 
常用的熱電捅主要有以下幾種 
1)鉑銘—鉑，代號LB主要用來測星80D-1600℃溫度。 
2)鎳鉆—鎳硅、代號EU測量l000-1300℃以下的溫度。 
3)鎳鉻—考銅、代號EA、測量600-800℃以下溫度。 
4)鉑鈴—鉑鉻代號LL，是兩種成分不同的鉑銘合金所做成的 
一種新型熱電偶，涸溫范圍可高達1800℃，一般也稱之謂雙鉑銠熱電偶。 
在使用時，這些熱電偶都外加保護套以延長其使用存命。護嘗的材料有金屬的或陶瓷的，視溫度而異。